Лаборатория за получаване на тънки филми чрез магнетронно разпрашване
Получаване на тънки филми чрез магнетронно разпрашване – RF и DC – магнетронно разпрашване. Апаратурата разполага и с установка за вакуумно изпарение.
Описание на услугата
Лабораторията осъществява отлагане чрез магнетронно разпрашване или вакуумно изпарение на слоеве от различни метали и техни оксиди. Отлаганите слоеве чрез вакуумно изпарение са с контролирана дебелина. Слоевете, отлагани чрез магнетронно разпрашване се отлагат чрез два вида катодни източници – RF и DC. Има възможност за нагряване на подложките по време на процеса на отлагане до 300°С. Големината на използваните подложки върху които могат да се отлагат слоеве е до 5 х 5 см и дебелина до около 5 мм. При поръчка за отлагане на слоеве, мишените се осигуряват от поръчителя.
Апаратура
Апаратура за магнетронно разпрашване и вакуумно изпарение, KES 500 TC на фирмата Kenosistec, Binasco, Italy
Моделът KES 500 TC е система за разпрашване и термично изпаряване за единични партиди във вертикална конфигурация, предназначена за приложение в областите на научноизследователската и развойна дейност, които изискват гъвкавост и лекота на използване. Субстратите, които ще бъдат покрити с отлаган слой, се разполагат вътре в процесната вакуумната камера върху държател на пробите, който е снабден с въртеливо движение с регулируема скорост на въртене (0 – 20 об/мин). Държателят на пробите е способен да побере проби с размери до 5 x 5 см. Анодът (държателят на подложката/ите) може да се върти с определена скорост, за да се гарантира повишена равномерност на процеса и ниско замърсяване на покритието. Процесната камера на системата има три магнетронни катода с диаметър 2” в конфокална геометрия и термичен изпарител, монтиран в дъното на камерата. Магнетронните катоди са два типа – един RF и два DC – източника. Всеки от тях е с максимална мощност до 100 W. При това могат да се получават максимално двукомпонентни системи, смесени или отложени послойно. Мишените, които се разпрашват се монтират на катодите са с размери 2.00″ в диаметър х 0.250″ дебелина. Всички катоди имат индивидуален затвор и специален щит, за да се избегне кръстосаното им замърсяване. Кварцов сензор осигурява контролирана дебелина на получаваните тънки филми. Камерата разполага с възможност за нагряване (до 300°С) и водно охлаждане на държателя.
