Системата за плазмено отлагане на наноструктури се състои от вакуумна камера, газоподаваща система и газови бутилки, вакуумна помпа, микровълнов генератор, вълноводни секции за микровълните, квадруполен масспекторметър. Модулите на системата за третиране на газове в разряди при високо напрежение се състоят от вакуумна камера за третиране на газове, модул за подаване и контрол на потока на смеси от газове, източници на сигнали и на високо напрежение, модули за електрическа диагностика на разряди при високи напрежения. Системата включва също спектрометър за абсорбционна спектрометрия в близка и средна инфрачервена област, позволяващ молекулярен анализ на газове при атмосферни и близки до атмосферни налягания, полупрозрачни твърди проби и повърхности на непрозрачни твърди проби.